TORAY 東レコーテックス株式会社 TORAY COATEX CO.,LTD.
商品紹介

シリコンウエハー、液晶、ガラス類用研磨

業界標準として広く採用

業界に広くご愛顧いただいている不織布をベースとした仕上研磨用の研磨布です。
高分子樹脂合成と湿式製膜加工技術を組み合わせた当社技術の結晶です。

●多数の研磨布タイプを取り揃え、シリコン用、液晶用、フォトマスク用、ガラス類など幅広い仕上用研磨用途にご利用できます。

●高分子樹脂は、ポリエステル樹脂、ポリエーテル樹脂、ポリカーボ樹脂など幅広い樹脂タイプがあります。

●ベースとなる不織布も厚手〜薄手まで幅広く取り揃えています。

●長いライフを持ち、コスト低減に貢献します。

●高い研磨レートで生産性向上に繋がります。

●高平坦性を持ち、歩留まりアップに効力を発揮します。

製品仕様モデル図
開口径20〜100μm

 

断面SEM写真
表面SEM写真

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